在半导体产业飞速发展的当下,芯片的精密程度日益提升,对检测设备的精度、稳定性与兼容性提出了更为严苛的要求。奕叶探针台凭借卓越的技术性能与广泛的场景适配能力,正成为半导体研发与生产环节的关键支撑设备,为行业高质量发展注入强劲动力。
奕叶探针台在技术参数上展现出硬核实力。其显微镜操控系统配备多维度调节装置,右侧大型倾仰摇杆可实现 90° 快速倾仰,便于物镜更换;X/Y 轴调节精度达 1μm,Z 轴调焦行程 50.8mm 且移动精度 1μm,为细微结构观测提供清晰视野。
台面与卡盘系统的精密设计更是凸显其优势。台面平整度达 5μm,兼具 6mm 快速升降与 25mm 精密升降功能,满足不同测试阶段的位置调整需求。6 英寸标准卡盘支持 0.3mm×0.3mm 至 6 英寸 ×6 英寸样品的真空吸附,360° 旋转微调精度 0.1°,X-Y 轴移动范围 6 英寸 ×6 英寸且精度 1μm,确保各类晶圆、芯片的精准对位与稳定测试,适配从研发小批量样品到生产大规模晶圆的全流程检测。
在应用场景上,奕叶探针台表现出色。在半导体研发领域,其高精密调节能力助力工程师对新型芯片结构进行细致观测与电学性能测试,加速技术迭代;生产环节中,稳定的测试性能保障了晶圆良率检测的效率与准确性,降低生产成本。此外,在射频、低电流、高压等特殊测试需求下,通过搭配相应附件,奕叶探针台仍能保持稳定可靠的表现,为多元化检测任务提供有力支持。
奕叶探针台以其精湛的工艺、全面的性能与广泛的适用性,正在半导体检测领域崭露头角。未来,随着半导体技术的不断突破,奕叶探针台将持续升级创新,为行业发展提供更加强劲的设备支持,推动半导体产业迈向更高精度、更高效率的新阶段。
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