C-2系列探针台体积小、重量轻和高性价比探针台

一、简述

台湾奕叶C-2系列探针台内置独特抗震胶囊及吸盘独特低重心同轴滑台是机台稳固的条件下而达到轻量以及小型化，高性价比，C-2系列探针台的吸盘同轴滑台独特XY旋钮一上一下配置，方便XY快速切换，使组件达到快速25mm/转及精细10micron调整的方便性，除了DC直流应用之外及RF射频也能胜任到67GHz应 用.DCx6 或 RFx4 DCx2

      台湾奕叶C-2系列探针台底座配备独特抗震囊，可让探针台体稳定，电性量测无震动干扰，省去购买防震垫或防震桌的预算，同轴滑台可以快速移动寻找DUT，同时又兼具10micron的微调定位精度。 C-2系列探针台的厚度只有25 mm，大大降低了探针台的重心高度。 友商产品多数只有配置微调滑台而没有快速寻找的功能（也就是从晶圆的边到边，用手转都要上百圈）或是为达到快速寻找功能而下方配备另一快速滑台，这两个滑台增高了许多，整个机台重心突然变高，大大增加了稳定、重复、长期及高速量测的风险。

      奕叶探针座细牙技术，是one micron 的稳定定位不可或缺，专业接轨的生产线将探针座身体高度矮化及宽度窄化，可实现射频x4及直流x2或直流x6可能性。

      奕叶探针座底附磁性开关，大大降低探针座的定位时间。 就好像车子发动后，马上就要开去目的地那边出任务，客户用探针台的时候就是要做电信量测出任务一样，在用之前定位这些探针座的位子是必须的，因为市面上多数探针座每一轴 的移动范围都只有在12.5mm左右，只能在那12.5mm的移动范围内来使用，那定位的时间如果越短的话，大大增加电信量测在使用探针台之前的方便性，省得时间就是金钱。 目前奕叶的磁铁开关底座，厚度非常薄、拨杆非常顺畅、磁铁去除非常干净、磁性非常强及防锈处理很好。

二、技术指标

l 2英寸卡盘

l X-Y轴移动范围2英寸-2英寸

l 同轴卡盘，单手可操作X-Y轴移动

l 全新设计，体积更小更轻，便携式

l 可放置于手套箱内使用超清数字CCD显微镜，USB连接

l 可兼顾直流和射频的测试，C-2-RF型号更可搭载4个射频针座、2个直流针座

三、附件

l 镀金卡盘

l 射频探头/线缆

l 有源探头

l 高低温选件

四、应用

l 越来越多的产品需要在常温无氧或高温无氧下量测，这种体积小的探针台可以放到氮气建制无氧环境的手套箱内量测，

l 手套箱吹的干氮气或空气建立成一个干的环境，所以环境也可以架设冷吸盘给冷环境量测，测量组件不会产生结露结冰现象。

l 与光电元件共同架设在一个大的面包板防震桌上。

l 在大的太能模拟光下直接架设。

l 可在一个仪器架上面架设，上面层是屏幕，下面层是仪器，中间层是探针台。

l 空间面积受限的场地，只要40×40公分的面积就可以架设一台。

l 数字显微镜可以被换成选配的四点探针头，作为前段薄膜制程改进用的偏电阻量测使用，在电路制做完成后数字显微镜又换装回去，马上可以转回成电性量测探针台。

l 当电性量测需要跟其他实验室借仪器时，可以直接携带探针台过去链接，避免仪器搬运的损坏风险。

l 与其他客户执行合作计划时，可将探针台直接搬到客户那做电性量测验证。