使用探针台进行半导体表征主要参数的精准测量，不可缺少测试探针的运用。一共有四种类型的探针：一般DC探针、同轴DC探针、有源探针和微波探针。在使用的过程中，探针表面有可能会沾上尘土或是试品上的空气氧化层，再次使用将会影响数据测试的准确性。但换新得话，尤其是微波探针，将增加客户耗品成本费用。那应该如何清洁探针台探针呢？为此，教大家3个方法，能方便的除去探针上的“顽渍”，增加探针耗品的使用寿命。
1、毛刷清洁法
适用范围：5微米以上探针，微波探针。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。
拿一张A4白纸，撕成细长条的形状，建议是撕成细长的三角形形状(大概5cm高左右)。将示波器探头待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下(体视显微镜即可，放大倍数太高无法操作)，利用撕下的纸片尖作为毛刷，轻轻地将探针尖的沾污物刷下。
2、压针清洁法
适用范围：所有探针，灰尘比较靠近探针尖的情况。
拿一张A4白纸，裁成样品台大小(或适当的尺寸)，固定于样品台上。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下，慢慢下压探针，待探针接触到白纸后，向后移动探针，如下图所示方向。多尝试几次走到探针上的灰尘脱落。
3、超声波清洁法
适用范围：全部探针。
加入适量的蒸馏水放置烧杯内(烧杯尺寸以适合客户实际操作为宜)，并放进超声波清洗器内。开启超声波清洗器，随后手捏紧探针(注意戴丁腈手套)，将尖针放进蒸馏水内，让抖动把尘土震落，可以隔两三分钟用显微镜观察一次，直至尘土脱落为止。将探针放进适当的地方晾晒后就能使用。温馨提醒，若清洗微波探针，须将探针置放一整夜晾晒。
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