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l 感知器、太阳能集光片及OLED量测
l 探针座EB-050可将探针XY移动步进量较小,容易找到目标外,因探针还必须在有机薄膜上滑行到适当的接触应力,使敏感的有机薄膜不容易被刺穿,使偏压送到真正的有机薄膜
使用四点探针台,机台的手臂可快速更换模块式探针头,探针头将针尖间距及压力参数固定,当探头的探针点在基板上时, 附有内藏弹簧的探针会将四根针同时收缩,在固定的下压应力使测量的稳定性增加,外搭仪器Keithley 2400 /Keysight 2900可做测量.在制程改进方面只要将V/I这个数值彼此的位置互相比较或跟上一次V/I比较为参考,不需要再乘上一些其它系数做太复杂的演算.可以选购奕叶的软件使操作简单化及自动化
l 薄膜偏电阻Sheet Resistivity
l 体积偏电阻Volume Resistivity
l 导电率Doping Quality
l 金属膜厚Metalization Thickness
l P/N极性P/N Typing
l 电流电压I-V特性V/I Measurement
三、探针头规格
l 探针间距:40mil,62.5 mil
l 探针压力:80g
l 探针材质:BeCu Tungsten Carbide
l 高温选配:High Temp.200 ℃
l 高阻低电流
l 温度环境下量测RT~200℃
l 超高温RT~1200 ℃
l 无氧环境下
l 微小间距最小10 micron
l 大面积尺寸基板1200mm×900mm
l 仪器结合软件
l 自动移位测量