磁场环境下测量

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磁场环境下测量

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l 探针台加装电磁场线圈,建立一个电流可调的磁场环境下,也可加装一个加热温控吸盘同时建立热环境下做晶圆的电信量测
l 简易型（最高1000高斯）：直接将线圈横至于吸盘下方,如一般的探针台架设
l 进阶版（最高2 Tesla/20000高斯）：将一对高强度的磁场线圈配置在一左一右的轨道上滑行,上下样品时必须先将磁场往外移开,样品吸附在吸盘上同时翻转成垂直向，探针经由显微镜视野将探针落在适当的位置,再将高强度的线圈往吸盘的方向夹,先用高斯计量目前的磁场大小确认后就可以开始做电信的量测


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