四点探针台

四点探针台

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型号:KSR-4
品牌:台湾奕叶(EVERBEING)
特色: 奕叶探针台(EVERBEING)四点探针台适用于表面电阻率测试、薄膜切片电阻率测试、半导体掺杂特性的测试、金属层厚度的测试、测试半导体类型:P型 N型、电压 电流的测试。

四点探针台

       使用四点探针台,机台的手臂可快速更换模块式探针头,探针头将针尖间距及压力参数固定,当探头的探针点在基板上时, 附有内藏弹簧的探针会将四根针同时收缩,在固定的下压应力使测量的稳定性增加,外搭仪器Keithley 2400 /Keysight 2900可做测量.在制程改进方面只要将V/I这个数值彼此的位置互相比较或跟上一次V/I比较为参考,不需要再乘上一些其它系数做太复杂的演算.可以选购奕叶的软件使操作简单化及自动化,适用于半导体、太阳能、OLED、微机电、燃料电池等各式产业。

一、规格

探针间距:40mil,62.5 mil

探针压力:80g

探针材质:BeCu Tungsten Carbide

高温选配:High Temp. 200 ℃   

卡盘尺寸可选择:6英寸、8英寸、12英寸;

材料特氟龙

探针升降长度:30毫米

探针台Z轴升降精度为:20微米

探针材质:碳化钨、铍铜合金

探针距离:40mil、50mil、62.5mil

弹簧探针力度:45grams、85grams、180grams

探针直径:40.6微米 

尺寸:220mm长x420mm宽x250mm高

重量:20Kg

二、特点

可垂直上下移动

特殊恒定负载的弹簧探针

恒定的探针间距

可保持极大程度的重复性测试

探头方便更换

探针台顶部可调整Z轴移动

稳固的连接线在探针台后面

转接头可选择:Banana/ BNC/ Triaxial Female

卡盘可快速移动

可以配合加热吸盘使用

卡盘尺寸可以选择:6英寸、8英寸、12英寸

气动的SR-4可用开关控制升降

三、应用

薄膜偏电阻 Sheet Resistivity

体积偏电阻 Volume Resistivity

导电率Doping Quality

金属膜厚Metalization Thickness

P/N极性P/N Typing

电流电压I-V特性 V/I Measurement

四、其他高级应用

高阻低电流

温度环境下量测RT~200℃

超高温RT~1200 ℃

无氧环境下

微小间距最小10 micron

大面积尺寸基板1200mm×900mm

仪器结合软件

自动移动测量


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四点探针台四点探针台
四点探针台四点探针台