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台湾奕叶(EVERBEING)EB腔室加站

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型号：台湾奕叶(EVERBEING) EB系列
品牌：台湾奕叶(EVERBEING)
特色： 特性：高度稳定的大旋钮精密工作台，反鞭梢自由运动，安装8个微定位器，待机坞，应用程序基本的lV /简历，RF，单宽带探测，高电压，大电流配件有热夹头与温度控制器，无振动工作台，屏蔽箱。温度范围-60˚C至400˚C (RT可选500˚C) 低漏电流低至20fa 射频探测高达67 GHz或更高，具体取决于VNA 我们与以下公司合作进行一些应用: 冷Chucks: ERS德国射频探针:GGB工业

一.参数

站的足迹	760mm Wx660mm
站的高度	450 mm(对平板)/700 mm(对显微镜)
站的重量	80公斤
滚筒斜纹布	硬镀铬钢
滚筒尺寸	250毫米内，450毫米四分之一
滚筒容量	8直流或4射频4直流
定位器安装	磁性开/关开关
真空开关	4
压板z轴运动范围	6mm气动
Platen Z-Fine分辨率	l微米
压板Z轴运动	齿轮和皮带(细)，杠杆(粗)
查克材料	不锈钢
卡盘级型	大旋钮精密机芯
卡盘旅行系列	6 x6“
卡盘快速移动	快速Y轨道运动，便于样品加载
卡盘精细分辨率	1微米
塔塔卡盘	20度
卡盘精细分辨率	0.01度
大旋头卡盘运动	高精度线性舞台
卡盘尺寸	6 " (150mm)
卡盘平面	3双
卡盘刚度	15 um / 10 N
卡盘真空槽	中心（ 0.5 "， 1.5 "，2.5 "(单独控制)
卡盘偏置容量	最高可达2kv
卡盘隔离	5G欧
尺寸范围	2mm-150mm
显微镜台型	高精度线性舞台
显微镜级分辨率	1应用
显微镜台行程范围	2"x2"
显微镜倾斜(可选)	35度