一.规格:

卡盘直径40mm。

温度范围为77度至480度分辨率0.1°C

液氮杜瓦瓶50升

微定位器行程X-Y-Z线性25mmx25mmx25mm

分辨率10微米

显微镜X-Y阶段1“x1”

放大0.7倍~4.5倍

目镜20 x

总Mag.14X~90 x

灯箱150W灯无级控制

双鹅颈光纤指南

调平支柱4套

二：要求

液氮50升气体氮罐

三.维度:

尺寸:1300mm(宽)x1100mm(深)x1500mm(高)

重量300公斤

四.操作:

温度控制模块

对于低于室温的温度，卡盘必须用液氮冷却到低于温度预定。

PID控制器将温度精确控制到通过加热卡盘内的加热元件来预置。液氮模块

需要氮气来给杜瓦瓶加压以推动液体氮。液氮体积可由气氮控制

压力、液氮进口阀和液氮出口阀真空室模块

真空由真空泵产生至额定10-3托

低温应用

BNC母馈通可用于将信号连接到测试仪器，真空泵配有排气过滤器，避免污染到客户端环境。

Micropositioner模块

所有的微定位器都位于室外，这将有所帮助在真空设置好后，工程师要通过波纹管进行探测不需要通风室特别是当当温度下降时，晶圆片会自我收缩从而移动尖端

工程师需要再次将尖端探测到焊盘上。

显微镜模块

显微镜可以快速移动到桥式的一边，显微镜架便于打开腔盖。显微镜通过真空室顶部的观察口进行观察。

如果在15t尖端落地后，第二个目标在视野之外，显微镜观察通过X-Y显微镜可以将视野移动到第二个目标阶段。光照强度可无级调节。